膜厚测量仪

【膜厚测量仪】采用光谱干涉原理进行测量，具有非接触、无破坏、快速等特点，可在真空环境使用；可与大行程工件台配合，实现大面积膜厚自动测量；

测量范围（VIS）

测量层数

使用光源

入射角度

测试材料

测量时间

光斑尺寸

产品型号 Film thickness meter

一、膜厚测量仪 产品组成：

（1）测试主机

（2）光纤

（3）校正件

（4）测量头

（5）夹持装置

（6）手提电脑

（7）设备箱

二、膜厚测量仪产品特点：

（1）采用光谱干涉原理进行测量，具有非接触、无破坏、快速等特点；

（2）可在真空环境使用；

（3）可与大行程工件台配合，实现大面积膜厚自动测量；

膜厚仪原理图.jpg

膜厚仪光谱数据图.jpg

三、主要技术指标：

（1）测量范围（VIS）：15nm—100μm

（2）测量重复性（RMS）：0.086nm

（3）测量绝对精度（与椭偏仪对比）：0.25nm

（4）测量层数：大于3层；

（5）使用光源：卤素灯；

（6）入射角度：90°

（7）测试材料：透明或半透明薄膜材料；

（8）光斑尺寸：20μm—3mm（可选）

（9）测量时间：100ms—4ms

（10）通信接口：USB2.0