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烤胶机

【HP6烤胶机】采用全阳极氧化铝机身,升温速度快,尺寸小巧,可放入手套箱内使用,可对6寸圆晶进行烤胶。自带真空吸片功能和热辐射保护盖子,特别适合用于对各种控温精度高,热均匀性要求较高的实验场景。


加热面板尺寸
温度范围
温度设置
面板材质
产品型号 HP6
  • 产品说明

HP6烤胶机 产品特点:

• 表面阳极氧化铝加热面板,耐腐蚀,高硬度;

• 高精度数显温控表控制,带分段线性控温功能;

• 加热输出独立电路控制,提高了设备使用安全;

• 可手动开关真空吸附功能,使基片紧密接触热板表面;

• 长寿命、高热均匀性加热部件,特殊的隔热设计;

• 加热结构沉入式设计,尺寸小巧,适于手套箱内使用;

• 带热辐射式密闭盖子,最高加热控温250℃;

• 高热均匀性,高控温精度;


HP6烤胶机 技术参数:

• 适用基片尺寸:6寸以内晶圆;

• 控温范围:室温~250℃

• 温度分辨率:0.1℃

• 控温精度:±0.2℃(温度稳定后)

• 温度均匀性:± 1% 

• 加热功率:800W

• 真空输入要求:0.04~0.09Mpa

• 真空接口:6mm

• 重量:4kg

• 电源输入:AC220V,5A

• 尺寸:370(W)*270(D)*126(H)mm

烤胶机&尺寸图纸.jpg

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