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微流控芯片曝光系统【微流控芯片曝光系统】UV-KUB 2是国际市场上一款采用UV-LED光源系统的光刻机，其配备了基于LED光源的光学头，使用寿命大大提高，结构小巧，性价比高，非常适合实验室应用。
产品型号 UV-KUB 2
微流控芯片曝光系统 UV-KUB 2 是一种基于UV LED的曝光机系统，该曝光系统结构紧凑，可以直接放置在实验台上，能够处理可达直径4英寸的晶圆，兼容硬接触（接触式）或者软接触（接近式）工艺，可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度，采用365 nm光源，不需要预热，也不需要单独的冷却单元。另外，该系统采用了创新设计，保证了光源的准直性和均匀性，其最小分辨率可达2μm，发散角小于2°。本系统适用于市面上常用的光刻胶，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
微流控芯片曝光系统 UV-KUB 2 技术参数： • 分辨率 ：2µm • 波长 ：365nm +/- 5nm • 功率密度：35mW/cm² +/- 10% • 曝光过程中的基材温升：<1°C • 曝光周期： 1秒~1小时 • 可编程循环数 ： 10 • 彩色触摸屏 ：5.7英寸 • 功率 ： 180W • 尺寸：260 x 260 x 260mm • 电源：100V / 240V-50Hz / 60Hz • 重量： 8.2kg 应用领域：
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