POLOS® SPIN150x 匀胶机

POLOS® SPIN150x 匀胶机 产品特点：

▲独特设计

创新的外壳与排液系统设计可实现桌面式与嵌入式模式快速切换。模块化设计支持通过多种配件升级系统，优化滴液操作和整体处理流程。

▲电机归位功能

新型SPINx系列可自定义电机归位位置，便于集成到机器人控制/自动化生产环境。

▲便捷腔体操作

真空吸盘高于腔体边缘设计，允许通过末端执行器、镊子或真空吸笔便捷取放晶圆/基片，满足机器人操作的特殊需求。

▲自动顶盖

通过操作界面或脚踏板（手套箱操作）实现顶盖自动开闭，并可在工艺配方最后步骤设置自动开盖功能。

▲液体过滤收集器

SPINx系列配备液体过滤收集器，可有效保护旋涂机的马达、真空阀、传感器等关键部件。该装置在液体通过腔体或真空吸盘进入管道时会被捕获，并储存在可观察的液体罐中，维护时需定期清理。

POLOS® SPIN150x 匀胶机 硬件规格：

● 腔体材质：天然聚丙烯（NPP）或PTFE

● 基材尺寸：10mm碎片~6英寸（150毫米）晶圆或4×4英寸（100毫米）基板
● 液体过滤收集器
● 自动顶盖（支持脚踏板控制 - 高级版）
● 可编程电机归位位置
● 中心注射式针筒/滴液嘴支架
● 安全锁盖和真空传感器
● 大型可拆卸触控屏
● USB接口（配方存储/软件升级）

● 可在桌面式/嵌入式结构之前自由切换

● 无刷电机：0~12000 RPM
● 高加速度：1~30000 RPM
● 支持正转、反转、以及Puddle Mode

适用工艺：
● 镀膜Coating
● 蚀刻Etching
● 清洗Cleaning
● 冲洗/干燥Rinse/Dry
● 显影Developing

● PDMI及其他工艺

标准配件：
● 4~6英寸晶圆真空吸盘
● ≥10mm碎片真空吸盘

标准版 vs 高级版（Advanced）