Laurell WS-650Lz-23NPPB匀胶机

一、产品概述

Laurell LZ 系列旋涂处理器（也常称旋涂机、匀胶机、甩胶机、Spin Coater），是面向科研实验室与小批量工艺研发的高性能旋涂薄膜制备设备，主打灵活性、工艺重复性与耐化学腐蚀能力，开箱即可投入实验使用，广泛用于半导体光刻、微纳加工、新能源光伏薄膜研发等场景。Laurell WS-650Lz-23NPPB匀胶机 采用新一代无刷电机方案，搭配蓝牙无线程控、SPIN3000 配套软件，兼顾本地独立运行与电脑上位机控制，满足多样化旋涂工艺开发需求。

二、核心硬件与性能参数

1. 全新无刷驱动电机：转速范围 1‑12000 RPM，加速度最高 12000 RPM / 秒，支持双向旋转，保障薄膜涂覆一致性与工艺可复现性。

2. 无线与程序控制系统

• Class3 蓝牙 ® 无线通信，免线缆完成设备编程、参数调试；

• 工艺时间：单步 1 秒‑99 分 59.9 秒，时间精度 0.1 秒；

• 存储能力：20 套工艺程序，每套最多 51 个步骤，同时支持手动操作模式；

• 附赠 SPIN 3000 PC 接口软件，可电脑编辑、导出工艺配方，设备也可脱离软件独立运行。

3. 耐化学腔体结构

• 腔体外壳可选共聚物NPP或特氟龙 Teflon® 材质；防腐版本无外露金属部件，可耐受强酸、强碱等强腐蚀性化学品；

• 耐化学盖板，中心开孔 Φ19 mm；Φ38 mm 后排废液接口；流体导向设计，开启腔体不会发生液体滴落；

• 支持手套箱适配配置，可通入洁净干燥空气或惰性气体做密封吹扫。

4. 多层安全联锁保护机制

• 盖板联锁：腔体开盖状态禁止主轴旋转；

• 腔体锁止：程序运行、卡盘旋转过程中腔体无法打开；

• 真空联锁：真空不足时设备禁止启动旋转，规避实验风险。

三、主要应用领域

Laurell WS-650Lz-23NPPB匀胶机 可实现稳定的旋涂成膜，适配以下主流工艺：

• 传统光刻工艺，光刻胶旋涂；

• MEMS 器件、微流控芯片制备；

• 染料敏化电池、钙钛矿光伏器件薄膜研究；

• 多层顺序叠加镀膜工艺研发。

四、可选配件与扩展选件

• 液路系统：多通道自动滴液系统、边缘珠去除 EBR 模块、单路 / 多路手动注射器滴液组件；

• 定制卡盘：嵌入式卡盘、碎片样品卡盘、高孔隙卡盘、3D 透镜专用卡盘、非真空卡盘，可针对特殊基板定制工装；

五、安全认证

• 安全认证：ETL 认证，符合 UL、CSA 标准；满足 RoHS、CE、UKCA 合规要求，Intertek 检测认证；

六、常见问题：

    Q：Laurell WS-650Lz-23NPPB匀胶机 是否可以脱离电脑软件运行？

    A：可以。设备本体可独立编辑、运行工艺，SPIN3000 软件仅作为上位机辅助配置工具，非必需。

    Q：该设备能否用于强酸碱化学环境？

    A：可选配防腐配置版本，腔体无外露金属件，可兼容强酸强碱化学品。

    Q：是否支持手套箱内使用？

    A：支持手套箱就绪版本，可通入洁净干燥空气或惰性气体持续吹扫密封腔体。