等离子清洗机不起辉光了，如何排查故障？

引言：

等离子表面处理是指非聚合性无机气体（如Ar、N₂、O₂、H₂等）的等离子体对高分子材料表面的物理或化学的作用过程。低温等离子体能够有效的改善材料的表面性能，包括润湿性、粘合性、染色性、印刷性、防静电性等等各项性能。低温等离子体对材料的作用只发生在其表面几十至数千埃厚度范围内，能使材料表面性能显著改善而材料本体性能不受影响，同时又具有高效、低成本、环保的优点被广泛应用于各个科研领域。

然而，在日常的科研实验室中，有些科研工作者也偶尔会遇到等离子清洗机无法产生辉光的情况。那么，是什么原因导致等离子清洗机无法产生等离子体辉光呢？本篇，笔者将从实验室常见的、十分基础的等离子清洗机——Harrick Plasma等离子清洗机来举例。

Harrick Plasma常见的型号有PDC-32G-2等离子清洗机、PDC-002等离子清洗机。它们因其操作简单、性能稳定、质量可靠的特点，被广大的实验室所认可和购置。那么，又是什么原因导致其会无法产生等离子辉光呢？通常有两种可能：

①电路板故障，损坏；

②真空度不够，没有达到产生等离子体辉光的激发条件；

了解到以上两点，我们就可以针对性的来排除故障了。

我们可以通过使用荧光灯管来测试电路板是否出现故障，测试顺序如下：

（1）打开主电源，等待10-15秒；

（2）直接将荧光灯管放在大气压下的腔室中（不需要用真空泵抽空腔室）；

（3）然后将射频功率打开到高、中、低。在每个射频功率水平上，最多等待10秒，看荧光灯泡是否亮起；

*有时，可能需要将灯管稍微移动到腔室中的另一个位置，以使其发光。

如果灯管可以点亮，这通常表明电路工作正常，问题与真空有关，只需检查各个真空密封处是否松动、漏气即可。

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