在微纳米加工技术中，湿法刻蚀也是一种重要的图形转移方式，其特点是选择性好、重复性高、效率高、设备简单、成本低廉，缺点则是对图形转移的控制性较差、难以适应纳米级图形的加工、产生化学废液等。
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