划片(Wafer Saw)是半导体制造中的一道关键工序,在晶圆完成前道工艺后,使用高速旋转的金刚石刀片,沿着晶粒之间的预设切割道(划片槽)进行精确的机械切割,将整片晶圆分割成单个芯片(晶粒)。此过程需使用冷却液降温,并严格控制切割参数,以保证切割精度和芯片边缘质量,防止崩边、裂纹,确保后续封装的高成品率。
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