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KW匀胶机-使用注意事项有哪些？【匀胶机清洗】 ∷每次使用完后请清洗设备。 ①取下片托，用溶剂（如酒精、丙酮等）将片托表面的旋涂液擦洗干净； ②取下不锈钢锅，用溶剂（如酒精、丙酮等）将锅内部的旋涂液擦洗干净； ∷如发现旋转轴上的光码盘气孔进胶，请立即清洗。操作步骤如下： ①取下托盘，在旋转轴光码盘上滴入适量溶剂（如酒精、丙酮等）； ②等待1-2分钟，直至光刻胶完全溶解在溶剂中； ③打开泵抽气3分钟左右，直至光码盘气孔中光刻胶清除干净为止。 【片托使用】 ∷托盘选取：保证旋涂基片的外径大于片托的凸台外径以防止电机进胶，即a≥1~2mm，如图1所示； ∷旋涂溶液量：及时清理不锈钢锅内的残余旋涂溶液，以免滞留过多溢出锅外，污染设备。
图1 片托使用示意图 【气管插拔】 ∷插入气管：用力将气管插到底即可，如图2所示。 ∷拔出气管：先要按下快插接头的圆环，然后才能够进行拔气管操作，如图2所示。
图2 气管插拔示意图 ①快插接头；②气管；③快插接头圆环； 上一篇匀胶旋涂工艺-步骤解析下一篇通过本文带你了解【导电胶】 |
