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柜式等离子清洗机【柜式等离子清洗机】由供气控制单元、真空室、射频等离子发生器、匹配器、真空泵等部分组成，采用电容耦合的内部电极放电结构。当上电极接入射频功率时，上下电极之间交替发射的电子，经过电场加速之后撞击低真空环境中的气体分子，气体分子由于受到高速电子的撞击而发生电离。
工作原理： 柜式等离子清洗机是利用等离子体中的能量粒子和活性粒子与高分子表面发生作用，以达到改变表面成分的目的。对塑料、纤维、高分子薄膜等能有效地改善其表面特性以适合各种用途。无论惰性气体等离子体还是活性气体等离子体的表面处理都能有效地使高分子材料表面层产生大量自由基，再经等离子体活化而生成的表面自由基位置，能进一步形成特定官能团。 产品特点： （1）不锈钢托盘设计，可调节托盘间距； （2）8K镜面不锈钢腔体，密封性好； （3）13.56MHz射频等离子发生器，产生高密度等高子体； （4）触摸屏+PLC控制，过程参数实时监控； （5）支持各种工艺气体，包括氩，氧，氢，氦和氟化气体 （6）配备气体流量监测系统，MFC针阀调节，美国世维洛克气体管路，两路工艺气体配置(Ar、O2)，双路气流控制，比例可调; 柜式等离子清洗机 技术参数： （1）功率：500W/1000W (可选) （2）频率：13.56MHz (自动阻抗匹配) （3）腔体材质：316 镜面不锈钢 （4）腔体容积：60L （5）腔体尺寸：400(W)*450(D)*370(H)mm （6）电极板数量：6层 （7）气路数量：2路工艺气体通道，可自由选择各种工艺气体 （8）工作真空度：<30Pa （9）外形尺寸：900mm(L)x960mm(W) x1750 mm(H) |
