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一、【等离子去胶机】功能特点： （01）耐用的高品质不锈钢结构和固定装置； （02）不锈钢托盘设计，可调节托盘间距； （03）8K 镜面不锈钢腔体； （04）13.56MHz 数字高频等离子发生器； （05）直观的触摸屏，过程参数实时监控； （06）方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求； （07）支持各种工艺气体，如：氩气，氧，氢，氦和氟化气体； （08）两个标准的浮子针阀流量控制器，用户可以根据需要来调节； 二、【等离子去胶机】技术参数： （01）射频频率：13.56 MHz （02）射频功率：0-300W 可调 （03）腔体材质：进口 316 镜面不锈钢，军工级密封 （04）腔体尺寸：240(L)*280(D)*200(H)mm （05）腔体有效处理面积：230（L）× 205（D）mm （06）处理产品尺寸：可处理 8 寸晶圆，向下兼容 6 寸，4 寸晶圆 （07）放电电极：高导电铝合金专用电极 （08）放电形式：CCP & RIE 离子反应放电模式 （09）电极间距：可调整电极之间的距离，调整等离子体强度和密度，大大提升处理能力和效率 （10）气体流量控制器：浮子针阀流量控制器， 0-500ml/min （11）气路数量：2 路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等 （如需接入腐蚀性气体，需提前告知） （12）真空计：有真空计 （13）系统控制：4.3寸触摸屏PLC控制 （14）电源供应：220V （15）气管接口：φ8mm （16）气体纯度：99.99% （17）气体压力：0.3~0.6Mpa （18）排气口：KF25 （19）整机功率：1000W （20）外形尺寸：600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H) （21）重量：80kg
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