PIE‑Scientific Tergeo‑EM 电镜专用等离子清洗机｜TEM/SEM/Cryo‑EM 低温电镜等离子处理设备

一、产品概述

Tergeo‑EM 是专门针对透射电镜 TEM、扫描电镜 SEM、冷冻电镜 Cryo‑EM 开发的台式等离子清洗系统，由美国 PIE‑Scientific 研发生产。设备搭载CCP 容性耦合 + ICP 感应耦合双等离子源，结合连续 / 脉冲等离子技术，刻蚀速率跨三个数量级，既可以快速去除厚层电子束诱导积碳，又能以极低损伤处理石墨烯、氧化石墨烯、1‑3nm 超薄碳支持膜等极脆弱样品，不会破坏载网结构。 设备可清洗 TEM 样品杆、各类电镜样品、Cryo‑EM 冷冻载网、原位芯片；实现样品表面亲水化、调控表面正负电荷，高效去除碳氢有机污染物。大量全球顶尖科研机构选用，半数新订单来自老用户跨机构复购，大量 Cryo‑EM 高分论文引用该设备，整机免定期维护，部分设备连续稳定运行 10 年无需厂家上门维护。

二、核心功能与硬件特点

1. 双等离子源集成设计（CCP+ICP）

• Direct 直接（浸入式 CCP）高速模式：高能等离子，快速清除厚电子束积碳、失效分析去除覆盖层，处理效率高。

• Downstream 下游（远程 ICP）温和模式：低离子轰击，依靠活性自由基处理，可对石墨烯、超薄碳膜载网安全处理长达十余分钟，不破坏样品结构。

2. 连续 + 脉冲等离子可调：脉冲占空比从 100%（连续）可调至 1% 以下，等离子强度动态范围极大，兼顾剧烈刻蚀与超温和样品改性。

3. 13.56 MHz 射频电源：0‑75W / 0‑150W 功率版本，1W 精细步进调节；全自动阻抗匹配，同等功率条件下处理效率远高于 kHz 低频等离子设备。

4. 实时等离子强度传感器：实时定量反馈等离子状态，消除经验猜测，保障不同工艺配方稳定性、实验可复现。

5. 水蒸气等离子工艺（特色）：支持水蒸气 H₂O 等离子，替代危险氢气 + 氧气混合气体配方；产生高密度 OH 羟基基团，高效清除电子束交联聚合物污染，实现样品超高亲水化，尤其适配冷冻电镜、液相原位 TEM 实验。同时兼容氧气、氩气、氢气、氮气、空气、SF₆、CF₄及各类混合工艺气体。

6. 气路与样品装载

• 最多 3 路 MFC 质量流量控制器，任意比例混合多种工艺气体。

• 前门双样品杆接口，兼容 Thermo Fisher（FEI）、JEOL、Hitachi、TESCAN、Zeiss 主流品牌 TEM 样品杆；可定制特殊适配器。

• 可直接放入 TEM 载网、SEM 样品、冷冻电镜自动装载盒做批量处理。

7. 智能控制系统：7 英寸触摸屏人机界面；完整工艺配方可编程，可设置射频功率、脉冲参数、清洗模式、各路气体流量、处理时长、清洗后吹扫；全自动运行，也可手动调试。

8. 免定期维护设计：设备可靠性优异，大量现场实例连续运行 10 年，无需厂家计划性维护。

三、关键技术规格

• 射频频率：13.56 MHz

• 射频功率：0‑75W / 0‑150W，1W 步进可调，全自动阻抗匹配

• 等离子模式：Direct 高速直接模式 / Downstream 下游温和模式；连续 / 脉冲等离子

• 刻蚀速率范围：＞200 nm/min ～＜0.01 nm/min

• 工艺气体：O₂、Ar、H₂、N₂、Air、H₂O 水蒸气、SF₆、CF₄，支持气体混合，最多 3 路 MFC

• 样品接口：双 TEM 样品杆端口，支持主流电镜样品杆，可定制适配器

• 控制方式：7 英寸触控屏，可编程存储工艺配方，全自动化运行

• 配套选件：TEM 样品杆真空存储与预抽系统

四、典型应用场景

1. 冷冻电镜 Cryo‑EM：冷冻载网亲水化改性，提升蛋白样品吸附效果，调控表面电荷；

2. TEM 透射电镜制样：去除电子束产生的碳氢污染，石墨烯、氧化石墨烯、1‑3nm 超薄碳支持膜等二维脆弱载网低损伤清洗；原位 TEM 芯片表面活化；

3. SEM 扫描电镜样品处理：清除样品表面碳污染、还原表面氧化物；

4. 失效分析 FA：等离子去除表面覆盖层；

5. 二维材料科研：低损伤等离子表面改性、清洁，避免离子轰击破坏薄层结构。

用户机构参考：MIT、哈佛大学、加州理工、斯坦福、加州伯克利、清华大学、新加坡国立大学、德国马克斯‑普朗克研究所、法国 CNRS 等全球知名科研院所，大量高分 Cryo‑EM 论文引用本设备。

FAQ

Q：Tergeo‑EM 对比普通 TEM 等离子清洗机有什么优势？

A：内置 CCP+ICP 两套等离子源，支持脉冲等离子，刻蚀速率跨三个数量级；既可以快速去除厚积碳，又可以用下游脉冲模式安全处理石墨烯、超薄碳膜等极易被等离子破坏的样品；独有等离子强度实时监测，支持水蒸气等离子工艺，整机免定期维护。

Q：是否兼容不同品牌 TEM 样品杆？

A：原生适配 Thermo Fisher (FEI)、JEOL、Hitachi、TESCAN、Zeiss，特殊型号可提供定制适配器。

Q：水蒸气等离子有什么用处？

A：生成高密度 OH 自由基，无需危险氢氧混合气；清除电子束交联聚合物，实现样品超高亲水化，非常适合 Cryo‑EM 与液相原位 TEM 实验。

Q：超薄碳膜、石墨烯载网会不会被打坏？

A：选用下游 Downstream + 脉冲模式，依靠自由基作用，降低离子轰击，可安全处理数分钟，不会破坏超薄载网结构。